徠卡共聚焦顯微鏡掃描電鏡的使用

徠卡共聚焦顯微鏡的電鏡操作使用相對比較簡單。但是要得到滿意的結(jié)果，同樣要認(rèn)真對待。首先要注意樣品的制備，尤其是生物醫(yī)學(xué)樣品的制備更是—項(xiàng)專門而復(fù)雜的技術(shù)。對有些非導(dǎo)電樣品，為防止其充電造成圖像假象，須要在表面蒸涂一定的金屬導(dǎo)電層。因此如何掌握噴蒸條件也是應(yīng)該注意的。

除樣品制備外，將電鏡調(diào)整在良好狀態(tài)也是重要的一環(huán)。和透射電統(tǒng)一樣，電鏡對中是調(diào)整工作的*步，其次就是對有關(guān)物理量的正確選用。

1．末光閱和工作距離一當(dāng)樣品表面祖循而且要求使用低放大倍數(shù)時，可以用小孔徑的末光鬧和長工作距離。因?yàn)檫@樣可以得到長景深。此時為保證足夠的信號強(qiáng)度，可適當(dāng)減小聚光鏡電流以加大束流。徠卡共聚焦顯微鏡在高放大倍數(shù)下，只要對分辨率要求不太高，可選用大孔徑光闌和短工作距離。為提高分辨率，則必須減小末光闌的孔徑。

2．加速電壓一加速電壓的選擇主要決定于樣品的特性，而與所用的放大倍數(shù)關(guān)系不大除特殊情況外一般可選用20kv甚至10kv檔電壓。降低電壓可提高襯度。但必須以犧牲分辨率為代價。如樣品有明顯充電，則應(yīng)把加速電壓降到10kv以下。

3．在徠卡共聚焦顯微鏡觀察下的樣品的傾角一在二次電子成象模式中，樣品應(yīng)有一定傾角，一般以30°為宜。對于特別平坦的表面以采用大于45°為好。當(dāng)要求觀察樣品上的茸毛或垂直于表面的凸出物時，傾角應(yīng)接近90°。

在高分辨工作中，徠卡共聚焦顯微鏡尤其要認(rèn)真選擇聚光鏡激勵電流的強(qiáng)弱和末光闌孔的大小。既要保證一定束流以壓縮圖像中的噪聲，又要使樣品處電子束的孔徑角和柬斑不致太大。在高分辨工作中，尤其要認(rèn)真選擇聚光鏡激勵電流的強(qiáng)弱和末光闌孔的大小。既要保證一定束流以壓縮圖像中的噪聲，又要使樣品處電子束的孔徑角和柬斑不致太大。

除工作條件的選擇外，徠卡共聚焦顯微鏡電鏡的使用還包括對功能的選擇。掃描電鏡除主機(jī)用于二次電子像的觀察分析外，常常還可加配許多附件，利用樣品發(fā)出的其他信號進(jìn)行分析。前面提到的背散射電子成像單元就是一種基本的附件。此外還有，用于對樣品作元素分析的x射線分析儀（包括波譜儀）；用于分析半導(dǎo)體樣品的各種感生電信號功能附件，包括樣品電流像、電子束感生電動勢像和感生電流像的顯示單元等；有用于研究發(fā)光物質(zhì)的陰極熒光單元，包括陰極熒光像和陰極熒光光譜分析等，尤其是有機(jī)材料的陰極熒光技術(shù)在生物學(xué)和醫(yī)學(xué)研究中有較多應(yīng)用。

掃描電鍍和其他儀器的組合也是當(dāng)前的一個重要方向。徠卡共聚焦顯微鏡的掃描電鏡和透射電鍍結(jié)合形成的掃描式透射電子顯微鏡（sTEM），當(dāng)采用場發(fā)射電子槍和加配電子能量損失譜儀后，便是一種很好的高分辨分析儀器。掃描電鏡和俄歇（Au8er）電子能量分析儀的結(jié)臺可使表面顯微分析更有成效。環(huán)境掃描電鍍實(shí)際上是一種背散射電子模式的低真空掃描電鏡，它可以直接觀察接近自然條件下的樣品、包括某些引起生物和礦物材料的動態(tài)變化過程。此外掃描電子鏡式顯微儀和電子束刻蝕加工設(shè)備等也日益引起更多人的關(guān)注。

備注：徠卡共聚焦顯微鏡掃描電鏡的使用的部分文章由北京中儀光科科技有限公司編輯整理上傳。